任何物质在一定温度下，总有一些分子从凝聚态（固态或液态）变成气态离开物质表面，但固体在常温常压下，这种蒸发量是极微小的。如果将固体材料置于真空中加热至此材料蒸发温度时，在汽化热的作用下，材料的分子或原子具有足够的热震动能量去克服固体表面原子间的吸引力，并以一定速度逸出变成气态分子或原子向四周迅速蒸发散射。
真空蒸发镀膜法是在高真空中，将镀膜材料加热到高温，相应温度下的饱和蒸汽就在真空槽中散发，蒸发原子在各个方向的通量并不相等。基体设在蒸汽源的上方阻挡蒸汽流，且使基体保持相对较低的温度，蒸汽则在其上形成凝固膜。
目前，采用真空蒸镀法生产镀膜玻璃均是间歇式生产，其工艺流程如图所示。
真空蒸发镀膜可分为电阻蒸发源蒸镀法、电子束蒸发源蒸镀法、高频感应蒸发源蒸镀法以及激光束蒸发源蒸镀法四种方式。
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