由超声发生器产生的高频电振荡施加于超声换能器上，将高频电振荡转换成超声频振动。超声振动通过变幅杆放大振幅并驱动以一定静压力压在玻璃表面上的工具产生相应频率的振动。工具端部通过磨料不断地捶击玻璃，使加工区的玻璃粉碎成很细的微粒，被循环的磨料悬浮液带走，工具便逐渐进入玻璃中，加工与工具相应的形状。
超声打孔的孔径范围是0.1~90mm,加工深度可达100mm以上，孔的尺寸精度可达0.02~0.05mm。孔的形状不限于圆形，如果工作台不旋转，就有可能钻成各种各样的形状，也可同时钻几个孔。
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