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生产镀膜玻璃需要注意的工艺事项

作者:奥固鸿已有:N多人关注
采用阴极磁控溅射法生产镀膜玻璃,要获得膜层牢固的产品,必须注意下述事项。
1、 玻璃要新鲜 新鲜的玻璃表面化学活性大,有利于化学吸附和物理吸附,供生产镀膜玻璃的玻璃原片(基片),自离开浮法生产线算起,最好不超过一个月。
2、 玻璃镀膜前清洗的质量要高  要用配有洗涤剂的水刷洗及用质量渡河要求的去离子水冲洗,然后用无尘的干燥空气吹干。
3、 玻璃在运输及贮存中要防止雨淋  浮法玻璃沾水后长期在潮湿的状态贮存,容易产生霉斑,此种霉斑是洗涤机难以除去的。这种玻璃镀膜后霉斑容易清晰显出。有霉斑的制品则列为废品。
4、 清洗后的玻璃不能用裸手触摸  清洗后的玻璃若用裸手触摸,手的汗渍、油污、脏物连同手纹都留在玻璃表面,镀膜后能清晰地显出手纹,此处的膜层与基片结合牢固的程度受到严重的影响,经过一段时间后,手纹处的膜层将会自动剥落。
5、 镀膜前的辉光放电的强度和时间要符合工艺要求   要按工艺规程的电压、电流和处理时间进行处理,保证一定的处理时间(不少于20s)。这样可以除去玻璃表面和溅射室壁所吸附的大量水分和气体分子,有利于激活玻璃表面的化学活性。
6、 反应溅射镀膜要准确地控制好反应气体的用量 反应气体输送入溅射室的量过多或过少,都会影响膜层与基片结合的强度。
7、 溅射电流、电压等工艺参数要稳定  溅射电流、电压的波动,都将会影响溅射量及溅射的中性原子(或分子)与基片的吸附强度,只有稳定的工艺控制才能生产出厚度均匀、膜层牢固的镀膜玻璃。
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