切割后的坩埚---自来水冲洗---次酸处理---自来水冲洗---二次酸处理---高纯水冲洗---烘干---高纯氮气吹扫---真空封装同时冲入少量高纯氮气。
此工艺应注意的事项如下：
- 高纯水的纯度须大于15MΩ，并反复冲洗
- 包装吹扫间要在洁净室内完成
- 包装塑料须是防静电的
- 氮气的纯度，露点应大于-70℃
- 氢氟酸处理要特别注意酸的浓度和处理时间，推荐如下：将产品放入加过“溶脂剂”的去离子水或蒸馏水中，然后，将其浸入浓度为7%（最高浓度）的氟化氢氨溶液中不超过10min；或放入浓度为10%（体积比最高浓度）的氢氟酸溶液中不超过5min。表面的浸蚀不但会除去表面上的污染物，也会去掉少量的熔凝石英成分。为了避免水迹斑痕吸灰和再随后的加热情形下引起析晶，应将熔凝石英在去离子水中多次漂洗并迅速使之干燥。
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