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合成石英玻璃用什么原料制成的

作者:奥固鸿已有:N多人关注
合成石英玻璃以高纯SiCl4或其他含硅化合物为原料。
SiCl4是无色透明液体,极易挥发,有强烈的刺激性气味,水解后生成SiO2和HCl,具有强腐蚀性。
SiCl4的物理性质和化学性质

分子量 液体相对密度 蒸发相对密度 熔点/℃ 沸点/℃ 蒸发热/(kcal/mol) 生成热/(kcal/mol) 标准生成自由能/(kcal/mol)
169.2 1.41 0.063 -70 57~60 2909.3 6420.5 572.2
 
注:1kcal=4.18kj
工业上SiCl4的制备实在450~500℃下,将氯气通入含硅量大于95%~99%、粒度3~5mm的硅铁中制得,氯气使用前应脱水净化处理。化学反应如下:
Si+2Cl2              SiCl4
该反应为放热反应,炉内温度随反应加剧而升高,故需控制氯气流量防止反应温度过高,温度过高易生成Si2Cl6、Si3Cl8。反应生成的的Si2Cl4蒸气流入冷凝器,冷却成液体Si2Cl4流入贮罐备用。
SiCl4的另一个来源是综合利用半导体工业制造多晶硅的废料——SiHCl3的高沸点残液,其中主要成分为SiCl4,约占70%。
以上方法制备的SiCl4中通常含有大量杂志氯化物。由于石英玻璃的纯度主要取决于原料纯度,因此SiCl4纯度对合成石英的质量至关重要。提纯SiCl4的方法很多,有精馏、故土吸附、萃取、部分水解、络合等。目前国内多采用精馏提纯,即利用SiCl4与杂质氯化物的沸点不同,进行分馏而制取高纯SiCl4。SiCl4原料中各种氯化物的沸点示于下表:

组分 沸点/℃ 组分 沸点/℃
SiHCl
SiH2Cl2
BCl3
SiHCl3
SiH4
PCl3
CCl4
POCl3
-30.4
8.3
13
31.5
-111.8
76
77
108.3
SnCl4
CrO2Cl2
VOCl3
AsCl3
TiCl4
PCl5
AlCl3
其他金属杂志氯化物
113
116.7
127
130
136
160
180(升华)
>200
分馏提纯多采用填料塔和筛板塔,为避免塔体对产品的污染,最好采用石英玻璃制作塔体。筛板塔内有上百层筛板,每一层筛板相当于一次蒸馏,经过上百层筛板蒸发、冷凝、气液交换将SiCl4分离出来,把不同沸点的杂质氯化物分离出去,制得的SiCl4纯度可达1*10-9。精馏操作过程中必须严格控制全回流时间、电压、塔釜和塔顶温度、出低沸点时间等参数。

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