热处理温度对方块电阻的影响如图4所示，由图可以看出，热处理温度较低市ITO薄膜方块电阻较高，随着热处理温度的增加，ITO薄膜的方块电阻直线下降，热处理温度达到450℃时，ITO薄膜方块电阻降为最低，热处理温度高于450℃后，ITO薄膜方块电阻由减小转为增加。热处理温度较低时，ITO薄膜晶粒较小，方块电阻较大；随着热处理温度的升高，ITO薄膜晶粒增大，有利于方块电阻的下降；当热处理温度接近500℃附近时，晶格畸变严重，抵消了晶粒增大有利于方块电阻下降的影响，导致热处理温度超过450℃后，ITO薄膜方块电阻增加。
热处理温度对透光率影响如5图所示，由图5可以看出，热处理温度对透光率的影响，在热处理温度为475℃之前并不大，当热处理温度高于475℃后，透光率随热处理温度的增高迅速下降。
热处理是将对方块电阻的影响如图6所示，由图可以看出，热处理时间较短时，ITO薄膜方块电阻较大，随着热处理时间的增加，ITO薄膜方块电阻迅速减小；当热处理时间超过15min后，随着热处理时间的增加，ITO薄膜方阻缓慢上升。热处理时间较短时，ITO薄膜晶粒较小，方块电阻较大；随着热处理时间的增加，ITO薄膜晶粒变大，方块电阻迅速下降；当热处理时间超过15min后，随着热处理时间的增加，ITO薄膜晶粒变大，方块电阻迅速下降；当热处理时间超过15min后，随着热处理时间的增加，ITO薄膜晶粒尺寸变化不大，方块电阻变化不大。
热处理时间对透光率的影响如图7所示，由图可以看出，热处理时间较短时，ITO薄膜透光率较高，随着热处理时间的增加，ITO薄膜透光率随之减小；当热处理时间超过15min后，随着热处理时间的增加，ITO薄膜的透光率下降缓慢；热处理时间超过30min后，ITO薄膜的透光率基本不随着热处理时间的增加而变化。
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