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玻璃磁控溅射镀膜的反应气体有哪些？

作者:奥固鸿已有:N多人关注

为了产生氧化物、氮化物、硫化物和碳化物膜层，在进行溅射时，溅射室分别加入氧气、氮气、硫化氢、甲烷等气体，纯金属靶材溅射出来的原子与这些气体进行化学反应，生成氧化物或氮化物、硫化物、碳化物，然后沉积在基片表面而形成氧化物、氮化物、硫化物或碳化物膜层。这些气体称为反应气体。工业生产制备氧化物、氮化物的膜层较多，所以常用的反应气体多为氧气和氮气。
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