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气体压力的变化对溅射室内的放电有什么影响？
作者:奥固鸿已有:N多人关注
在溅射时，气体压力的变化对溅射室内的放电有不同的影响，一般来说，溅射室内气体压力增大，会引起放电电流增大、逆散射增加，因互相碰撞而使带能粒子减速；气体压力降低结果则相反，溅射粒子的能量在到达基片表面时转变为热能。溅射装置的真空系统应有高的抽气速率，以便迅速抽出溅射室内的残余气体。在放电区附近，必须避免存在压力梯度，因为这种压力梯度会造成放电的不均匀性，导致膜层不均。
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